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全球速看:气相外延 关于气相外延介绍
2023-06-27 14:28:07来源: 互联网


(资料图片仅供参考)

1、 气相外延是一种单晶薄层生长方法。

2、气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。

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